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●空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用(流量範囲:0.5~100l/min) ●水素、ヘリウム用(流量範囲:0~20l/min)
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ダスト除去用5μmとタール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化。