● 對應300mm晶圓
● 長壽命：300萬次（常溫時）
● 發塵量：1/5以下降低（既有品比）
● 維修性
● 安全對策
● 省空氣（訂製品）
● 輕量
● 與舊本體有互換性
・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
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- Aug 21 Tue 2018 14:31
SMC XGTP平行密封型閘閥
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