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・採用可更換濾芯的卡匣型。
　(SFA100・200・300，SFB100)
・半導體工藝用的小型一次性過沁器。
　(SFB300，SFC100)

・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
　(SFA100・200・300，SFB100)
・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
　(SFB300，SFC100)

Clean Gas Filter

・Cartridge type allows for element replacement
　 (SFA100/200/300, SFB100)
・Compact, disposable type for the semiconductor industry
　(SFB300, SFC100)

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